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石英管大致可分為以下幾種：透明石英管（外徑1.5mm~300mm）、濾紫外石英管、彩色石英管等。
閉管擴散要用石英管，這是由于石英管能耐1250℃左右的高溫，而且在1800℃以上時會變得很柔軟且很粘，能做成所需要的形狀。另一方面由于石英管深加工采用的原料是特級水晶石，純度高，含有害的雜質很少，對于擴散、配制合金等能保證質量，因此閉管擴散常采用石英管。
石英管的制備：根據擴散硅片直徑的不同，來選擇石英管的內徑、壁厚等參數。
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